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プラズマ発生用高周波電源

パール工業では、LF帯からUHF帯までの幅広い高周波帯域、パルス仕様・周波数マッチング・位相シフター等、多種多様な高周波電源を揃え近年の微細加工にも対応しております。
また、フラットパネル装置用電源として50kWまでの大電力電源も製作しています。

●プラズマ発生用低周波・高周波電源、イオントラップ用LF電源
■半導体 ■液晶 ■太陽電池

■高周波電源(単一周波数、固定)/RF generator (Single source fixed) ※1


周波数分類(Classfication)周波数Frequency(Hz)
LF,MF50k〜200k  380k  400k  800k   2M
HF,VHF4M 13.56M 27.12M 40.68M 60M
80M   100M  150M  200M
UHF300M〜500M

■広帯域高周波電源/Wide band RF generator ※2


出力output power(W)周波数Frequency(Hz)
100〜100k⇔500k   10M⇔200M

※1 出力詳細はお問合せ下さい(パルス仕様対応可)周波数マッチングにも対応致します。
※2 出力・周波数可変幅についてはお問合せ下さい。(パルス仕様対応可)
◆各種、仕様など詳細事例については、お問い合わせください。
◆記載されている内容は改良の為予告なく変更される場合があります。