RFシステム部
半導体製造に欠かせない高周波電源などの製品群が、
世界のITテクノロジーを縁の下でサポート。
高周波電源
パール工業が主に製造を手掛ける高周波電源の周波数帯域は400kHz~100MHz以上と広帯域です。近年ニーズが高まる高出力仕様にも積年のテクノロジーで対応します。
マッチングボックス
高周波電源と半導体製造に必要なチャンバーとの間を取り持つのがマッチングボックス。電力を効率よくチャンバーへ印加するためにマッチングボックスは不可欠です。
お客様独自の仕様にも柔軟に対応
特殊な仕様であるマイナーな周波数、制御方式、F-match機能などに加えて、お客様が求める、安定的な量産体制やCopy Exactlyの順守をしながら顧客の信頼を得ています。
※Copy Exactly：量産品の製品差をなくすために全ての構成部品、製造方法、環境等を統一する手法
Topics
半導体の製造でなぜ「高出力」が必要？
高集積化、微細化が進みナノ単位の加工が必要とされる半導体。その加工の実現には高周波電力の高い出力と精度が要求されています。また高周波電力のハイパワー化は半導体工程の高効率化につながります。
